▲ (왼쪽부터) 성백석 린데코리아 대표이사(회장), 김동연 경기도지사, 존 패니카 린데아시아태평양 회장, 정장선 평택시장이 기념촬영을 하고 있다.(사진=린데코리아)

[월간수소경제 박상우 기자] 린데가 2031년까지 경기도 평택에 크립톤, 제논 등 반도체 공정용 희귀가스를 생산하는 공장을 구축한다.   

린데코리아는 3일 평택시 고덕면에 위치한 린데코리아 평택공장에서 경기도, 평택시와 반도체 공정용 희귀가스 생산공장 건설을 위한 투자협약을 체결했다고 밝혔다.

이번 투자협약으로 린데는 오는 2031년까지 평택에 1,500억 원 상당을 투자해 산업용 가스 생산시설을 건설하고 크립톤·제논 등 희귀가스를 국내에서 직접 생산해 국내 고객사에 공급할 예정이다.

희귀가스는 지구상에 극미량만이 존재해 대량 생산이 어렵고 인공적인 생산이 불가능한 희소성이 높은 산업용 가스의 일종이다. 이 중 크립톤·제논·네온은 반도체산업에 주로 사용되는 필수 가스다.

크립톤과 제논은 반도체 웨이퍼에서 반도체 회로 모양을 뺀 부분을 깎아내는 식각 공정에, 네온은 반도체 웨이퍼에서 미세회로를 새기는 노광 공정에 주로 사용된다.

린데코리아는 그동안 린데 해외법인에서 생산한 희귀가스를 국내로 들여와서 고객사에 공급해왔지만, 앞으로 국내 공급량의 절반 가량을 국내에서 직접 생산해 공급할 계획이다.

존 패니카 린데아시아태평양 회장은 “린데는 안정적인 제품 공급을 위해 한국 내 현지 생산능력을 지속적으로 확대할 예정”이라며 “고객들의 사업에 가치를 더하고, 최상의 제품 및 서비스를 제공하기 위해 최선의 노력을 하겠다”라고 말했다.

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